超純水的制備

對于用水大戶以及對水質(zhì)要求較高的電子行業(yè)來說，要解決好節(jié)約用水和水資源的循環(huán)利用是令人頭痛的難題。大部分電子行業(yè)的超純水主要采用反滲透工藝生產(chǎn)。采用反滲透膜裝置可有效地去除水中的小分子有機(jī)物、可溶性鹽類，可有效地控制水的硬度。半導(dǎo)體電子工業(yè)所用的高純水，以往主要是采用化學(xué)凝集、過濾、離子交換等方法制備，這些方法的最大缺點是流程復(fù)雜、再生離子交換樹脂的酸堿用量大、成本高。隨著電子工業(yè)的發(fā)展，對生產(chǎn)中所用純水水質(zhì)提出了更高的要求。由膜技術(shù)與離子交換法組合過程所生產(chǎn)的純水中雜質(zhì)的含量已接近理論純水值。

目前，美國電子工業(yè)已有90%以上釆用了反滲透和離子交換相結(jié)合的裝置。據(jù)報道，在原水進(jìn)入離子交換系統(tǒng)以前，先通過反滲透裝置進(jìn)行預(yù)處理，可節(jié)約成本20%?50%。

許多類別的工業(yè)污水中常含有較高的鹽度，釆用離子交換吸附的脫鹽方法不僅處理成本高，而且離子吸附材料的再生過程中也會產(chǎn)生新的水污染問題。反滲透由于其運行成本低，脫鹽效率高，在工業(yè)廢水脫鹽處理中有著廣泛的應(yīng)用。